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中华人民共和国国家标准行业超纯水标准

中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )

指标名称	一级水（EW-1）	二级水（EW-2）
电阻率MΩ.CM. （25℃）	18(95‰时间)不低于17	15(95‰时间)不低于13
硅　　　≤μg/L	2	10
微粒数　＞1μm	0.1	5
细菌个数　≤个/ml	0.01	0.1
铜　　　≤μg/L	0.2	1
锌　　　≤μg/L	0.2	1
镍　　　≤μg/L	0.1	1
钠　　　≤μg/L	0.5	2
钾　　　≤μg/L	0.5	2
氯　　　≤μg/L	1	1
硝酸根　　≤μg/L	1	1
磷酸根　　≤μg/L	1	1
硫酸根　　≤μg/L	1	1
总有机碳　≤μg/L	20	100

中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准

指标\级别	EW－Ⅰ	EW－Ⅱ	EW－Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)	18以上，（95％时间）不低于17	15，（95％时间）不低于13	12.0	0.5
全硅，最大值,μg/L	2	10	50	1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL	0.1	5	10	500
细菌个数，最大值，个/mL	0.01	0.1	10	100
铜，最大值，μg/L	0.2	1	2	500
锌，最大值，μg/L	0.2	1	5	500
镍，最大值，μg/L	0.1	1	2	500
钠，最大值，μg/L	0.5	2	5	1000
钾，最大值，μg/L	0.5	2	5	500
氯，最大值，μg/L	1	1	10	1000
硝酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
磷酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
硫酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
总有机酸，最大值，μg/L	20	100	200	1000

中国实验室用水国家标准
实验用三个等级净化水的技术要求(GB6682－1992)

一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。

指标名称	一级	二级	三级
pH值范围（25oC )	—	—	5.0-7.5
电导率（25oC )(μs/cm) ≤	0.1	1.0	5.0
可氧化物的限度试验	—	符合	符合
吸光度(254nm,1cm 光程) ≤	0.001	0.01	—
二氧化硅(mg/L) ≤	0.02	0.05	—

                                 中国实验室用水国家标准
                                   实验用三个等级净化水的技术要求(GB6682－2008)
纯水水质按照GB6682-2008水标准进行分类，可以分为以下三类：
（1）三级水标准，电阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃；
（2）二级水标准,电阻率≥1MΩ.cm @25℃；
（3）一级水标准,电阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。

指标	一级	二级	三级
pH值范围（25℃）	--	--	5.0-7.5
电导率（25℃），mS/m. ≤	0.01	0.10	0.50
可氧化物质（以0计），mg/L ＜	--	0.08	0.4
吸光度（254nm,1cm光程） ≤	0.001	0.01	--
蒸发残渣（105°±2℃），mg/L ≤	--	1.0	2.0
可溶性硅（以SiO2计）mg/L ＜	0.01	0.02	--


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